其測量原理是利用慣性質(zhì)量塊在外加速度的作用下與被檢測電極間的空隙發(fā)生改變從而引起等效電容的變化來測定加速度的。

 

ENDEVCO變電容加速度傳感器是如何工作的

線加速度計的原理是慣性原理，也就是力的平衡，只需要測量F就可以了。就可以得到F對應(yīng)于電流的關(guān)系。只需要用實驗去標(biāo)定這個比例系數(shù)就行了。當(dāng)然中間的信號傳輸、放大、濾波就是電路的事了。

 

現(xiàn)代科技要求ENDEVCO變電容加速度傳感器廉價、性能*、易于大批量生產(chǎn)。在諸如軍工、空間系統(tǒng)、科學(xué)測量等領(lǐng)域，需要使用體積小、重量輕、性能穩(wěn)定的加速度傳感器。以傳統(tǒng)加工方法制造的ENDEVCO變電容加速度傳感器難以全面滿足這些要求。

于是應(yīng)用新興的微機械加工技術(shù)制作的微加速度傳感器應(yīng)運而生。這種傳感器體積小、重量輕、功耗小、啟動快、成本低、可靠性高、易于實現(xiàn)數(shù)字化和智能化。而且，由于微機械結(jié)構(gòu)制作、重復(fù)性好、易于集成化、適于大批量生產(chǎn)，它的性能價格比很高?？梢灶A(yù)見在不久的將來，它將在加速度傳感器市場中占主導(dǎo)地位。

ENDEVCO變電容加速度傳感器有壓阻式、壓電式、電容式等形式。